微振動技術(shù)用空氣彈簧
微振動技術(shù)用空氣彈簧
涉及微振技術(shù)主動氣體減振設(shè)備。環(huán)境技術(shù)：
伴隨著制造技術(shù)性和少量準(zhǔn)確測量技術(shù)應(yīng)用的迅猛發(fā)展，微震動控制系統(tǒng)已變成一個十分關(guān)鍵的課題研究。《電子工業(yè)抗微振動技術(shù)規(guī)范》(-2015))是2015年頒布實施的國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，要求高精度元器件和儀器設(shè)備的允許振動值。針對一般的透射電鏡和電鏡，其容許震動速率為6um/s，納技術(shù)產(chǎn)品研發(fā)設(shè)備的允許振動速率甚至低于0.75um/s。要達到這樣的微振動水平，這個總體目標(biāo)很難用被動減振技術(shù)實現(xiàn)?？諝飧綦x設(shè)備將處理這個問題。
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技術(shù)執(zhí)行因素：
本產(chǎn)品要解決的技術(shù)問題是擺脫原有技術(shù)水平的缺點，給予微振動技術(shù)主動氣體減振模塊。
為解決上述技術(shù)問題，本產(chǎn)品提供以下技術(shù)規(guī)范：
本產(chǎn)品公布了一種微振動技術(shù)的主動氣體減振設(shè)備?，F(xiàn)澆板與底座中間配備垂直空氣彈簧；齒輪板與底座中間配備水平空氣彈簧；垂直彈簧與水平空氣彈簧連接到氣動閥；垂直加速傳感器、水平加速傳感器、垂直位移計平加速傳感器、垂直位移計和水平位移計；主動氣體減振模塊的路面地面配備垂直加速傳感器和水平加速傳感器。
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