微振動(dòng)技術(shù)用空氣彈簧

伴隨著制造技術(shù)性和少量準(zhǔn)確測(cè)量技術(shù)應(yīng)用的迅猛發(fā)展，微震動(dòng)控制系統(tǒng)已變成一個(gè)十分關(guān)鍵的課題研究?！峨娮庸I(yè)抗微振動(dòng)技術(shù)規(guī)范》(-2015))是2015年頒布實(shí)施的國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，要求高精度元器件和儀器設(shè)備的允許振動(dòng)值。針對(duì)一般的透射電鏡和電鏡，其容許震動(dòng)速率為6um/s，納技術(shù)產(chǎn)品研發(fā)設(shè)備的允許振動(dòng)速率甚至低于0.75um/s。要達(dá)到這樣的微振動(dòng)水平，這個(gè)總體目標(biāo)很難用被動(dòng)減振技術(shù)實(shí)現(xiàn)。空氣隔離設(shè)備將處理這個(gè)問題。

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